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直流磁控溅射电源

分类:直流磁控溅射电源

描述:

简介 / Introduction

主要特点:
采用先进的逆变技术和模块IGBT功率开关器件设计,采用PWM脉宽调制技术、稳定性好,直流磁控溅射电源用于镀制金属膜,例如:金、银、铝、铬等,输出直流电压,稳流精度高。

主要技术参数:
1、空载电压≥800V
2、工作有效电压200-600V
3、稳流精度1%F.S.
4、可选远控面板控制或PLC

参数表:
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