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多弧、柱弧、平面弧电源

分类:多弧、柱弧、平面弧电源

描述:

简介 / Introduction

主要特点:
柱靶和平面靶电弧离子镀膜工艺中的电弧蒸发电源,采用先进的逆变技术和模块IGBT功率开关器件设计,采用PWM脉宽调制技术、稳定性好,效率高,对电网干扰小等优点。具备电压陡降特性及自动稳流功能。具有灭弧检测及自动引弧功能。相比多弧靶镀膜温度更低,溅射速度更快。

主要技术参数:

1.工作电压20-40VDC

2.稳流精度1%

3.引弧电压可选:无源触点、AC220VDC70V

4. 具有过流、过热、短路保护功能

5. 可选远控面板控制或PLCPLC控制采用霍尔采样线性度更好)

参数表:
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